Analyse de gaz et vapeur résiduel (RGA) (dégazage de surface, taux de fuite, pollution de surface, etc…)
L’analyseur de gaz résiduels (RGA) est un outil de diagnostic avancé utilisé pour mesurer les pressions partielles des différents gaz présents dans un mélange, même en très faible concentration.
L'analyseur de gaz résiduels (RGA) est un système de vide autonome à pompage différentiel qui prélève un échantillon de gaz à pression atmosphérique. Une faible quantité de cet échantillon est ionisée, puis les ions sont accélérés à travers un filtre de séparation de masse, générant un spectre de masse où chaque pic représente la pression partielle d'une espèce gazeuse en fonction de sa masse (m/z de Max 100).
Le RGA trouve des applications dans de nombreux domaines industriels et scientifiques :
Contrôle de l’étanchéité et des fuites dans des systèmes sous vide (enceintes, composants électroniques, capteurs, etc.).
Suivi du dégazage de matériaux chauffés (étude de composés volatils ou de contaminants résiduels).
Surveillance de la propreté du vide dans des procédés sensibles (comme la microélectronique, la fabrication de semi-conducteurs ou les accélérateurs de particules).
Analyse de gaz piégés ou résiduels dans des dispositifs hermétiques ou des échantillons solides.
Contrôle qualité dans des processus industriels où la composition gazeuse influence la performance (traitements thermiques, dépôts sous vide, etc.).
Un exemple concret d’utilisation dans le cadre d’une collaboration avec un partenaire industriel (Projet Maisovi) . L'analyse des gaz résiduels (RGA) est essentielle au développement des vitrages sous vide (VSV). Elle caractérise les composants (spacer, getter, fritte de verre) en identifiant les gaz émis et en évaluant l'absorption des getters. La RGA permet de contrôler la propreté des surfaces de verre avant assemblage en détectant contaminants et fuites. Le suivi temporel des gaz résiduels lors de tests de vieillissement (thermique/UV) prédit la durée de vie du VSV en mesurant les pressions partielles des gaz émis, la saturation du getter et les fuites, garantissant un vide de qualité pour une isolation thermique durable de la solution mis en place.
