Restgasanalysegerät (RGA)
Das Restgasanalysegerät (RGA) ist ein fortschrittliches Diagnoseinstrument zur Messung der Partialdrücke verschiedener Gase in einem Gemisch – selbst bei sehr geringer Konzentration.
Das RGA ist ein eigenständiges Vakuumsystem mit differenziellem Pumpen, das Gasproben bei atmosphärischem Druck entnimmt. Eine geringe Menge dieser Probe wird ionisiert, und die Ionen werden durch einen Massenseparationsfilter beschleunigt. Dadurch entsteht ein Massenspektrum, bei dem jeder Peak den Partialdruck einer Gaskomponente in Abhängigkeit ihrer Masse (m/z bis max. 100) darstellt.
Das RGA findet Anwendung in vielen industriellen und wissenschaftlichen Bereichen:
Dichtheits- und Leckprüfung in Vakuumsystemen (Kammern, elektronische Bauteile, Sensoren usw.).
Überwachung des Ausgasungsverhaltens erhitzter Materialien (Analyse flüchtiger Verbindungen oder verbleibender Verunreinigungen).
Überwachung der Vakuumreinheit in sensiblen Prozessen (z. B. Mikroelektronik, Halbleiterfertigung oder Teilchenbeschleuniger).
Analyse eingeschlossener oder restlicher Gase in hermetisch versiegelten Geräten oder festen Proben.
Qualitätskontrolle in industriellen Prozessen, bei denen die Gaszusammensetzung die Leistung beeinflusst (Wärmebehandlungen, Vakuumbeschichtungen usw.).
Ein konkretes Beispiel aus einer industriellen Partnerschaft (Projekt Maisovi): Die Restgasanalyse (RGA) ist entscheidend für die Entwicklung von Vakuumverglasungen (VSV). Sie charakterisiert die Komponenten (Abstandshalter, Getter, Glasfritte) durch Identifikation der emittierten Gase und Bewertung der Getteraufnahme. Die RGA ermöglicht die Kontrolle der Glasoberflächenreinheit vor dem Zusammenbau durch Nachweis von Verunreinigungen und Lecks. Die zeitliche Überwachung der Restgase während Alterungstests (thermisch/UV) erlaubt die Vorhersage der Lebensdauer des VSV durch Messung der Partialdrücke freigesetzter Gase, der Sättigung des Getters und von Leckagen – und stellt damit ein qualitativ hochwertiges Vakuum für eine langfristige Wärmedämmung der Lösung sicher.
