Thermosublimator (Kurt j Leskers SPUER SPECTROS Multi-Source,…)
Multi-Source-Thermosublimator (Metalle, MeOx und organische Stoffe), der in einem sehr hohen Vakuum (10-7 Torr) operiert. Die Methode ist ideal für die Herstellung komplexer Schichtstapel mit ausgezeichneter Dickenkontrolle und auf verschiedenen Substraten (Glas, Stahl, Polymere, Textilien,...) auf Flächen von bis zu 20x20 cm2. Die Methode ermöglicht auch das Co-Verdampfen mehrerer Spezies, um Multimaterial- und Hybridschichten mit einer genauen Kontrolle des Anteils der Bestandteile (z. B. dotierte Schichten) zu erzeugen.
Stärke
- Dieses Pilotsystem zur Multi-Source-Thermosublimation von Kurt J LESKERS SUPER SPECTROS, das in einem sehr hohen Vakuum (10-7 Torr) und in einer Glovebox arbeitet, scheidet nanometerdicke Schichten (aus organischen Materialien, Metallen und Metalloxiden) auf Oberflächen von bis zu 20x20 cm2 ab. Dieser Pilot verfügt über ein Zubehörteil (Wedge), das ein einzelnes Substrat in mehrere Substrate umwandelt, ohne dass ein Vakuum gebrochen oder komplizierte Methoden zur komplexen Maskierung angewendet werden müssen. Dieser kombinatorische Ansatz (Herstellung mehrerer Substrate mit unterschiedlichen Materialien und Dicken auf einem einzigen Substrat) reduziert die kostspielige und langwierige Suchzeit, sodass große Mengen an Substratvariationen innerhalb von Tagen statt Monaten hergestellt werden können. Das System ermöglicht auch das Co-Verdampfen mehrerer Spezies, so dass Multimaterial-Schichten in genauen Proportionen erzeugt werden können.
