Sublimateur thermique (multisources) Kurt J LESKERS SPECTROS
Sublimateur thermique multi-sources (métaux, MeOx et organiques) opèrant sous très haut vide (10-7 Torr). La méthode est idéale pour la réalisation d'empilements de couches complexes avec un excellent contrôle en épaisseur et sur différents substrats (verre, acier, polymères, textiles,...) sur des surfaces pouvant aller jusqu'à 10x10 cm2. La méthode permet également de co-évaporer plusieurs espèces de manière à créer des couches multi-matériaux et hybrides avec un contrôle précis de la proportion des constituants (par exemple des couches dopées).
Notre point fort
- Cet équipement de sublimation thermique multi-sources (métaux, MeOx et organiques opére sous très haut vide 10-7 Torr et en boîte à gants) pour la fabrication de dispositifs opto-électroniques contenant de couches complexes avec un excellent contrôle spatial et en épaisseur. La méthode permet également de co-évaporer plusieurs espèces de manière à créer des couches multi-matériaux dans des proportions précises.
