Ionische Umsetzung auf großen Flächen für industrielle Upscaling-Stufen und Kleinproduktionen

Die Entwicklung dieser großflächigen Ionenimplantationsmaschine erfolgte im Rahmen der WALIBEAM-Initiative und wird von Wallonien und Europa über FEDER-Mittel unterstützt. Im Mai 2019 wurden die Walibeam-Piloten Minister Jean-Claude Marcourt vorgestellt, der sich darüber freute, dass Wallonien sich als Weltführer bei diesen Spitzentechnologien positioniert.

Der IonPRO ist Teil dieser weltweit einzigartigen Ionenimplantationsplattform und kann jetzt für die Behandlung großer Flächen gemietet werden. Dieser neue halbindustrielle Ionenimplanter wurde von AGC und Ionics, Graux und Materia Nova entwickelt, deren Ziel die Entwicklung neuer Oberflächenbehandlungen ist.

Der IonPRO verwendet Elektronenzyklotronresonanz-Ionenquellen (ECR). Es verfügt über fünf in einer Reihe angeordnete Hardion-Ionenkanonen mit einem motorisierten XY-Förderer, die die Effizienz und Homogenität der Ionenimplantationsbehandlung gewährleisten. Die Luftschleuse besteht aus zwei Ladeplatten, die eine halbkontinuierliche Behandlung der Flüssigkeit in der Behandlungskammer mit einer maximalen Geschwindigkeit von 150 mm/s ermöglichen.

Die behandelte Fläche erreicht eine Abmessung von 1.600 mm x 1.800 mm.

Das System eignet sich gut für industrielle Upscaling-Phasen und kleine Produktionen und ist jetzt betriebsbereit.

AGC hat sich auf die Oberflächenbewitterung von Keramikmaterialien wie Floatglas und Saphir konzentriert. Durch die Ionenimplantation wird die Kratzfestigkeit von Keramik verbessert. Alternativ wird ein Brechungsindexgradient durch in die Glasoberfläche implantierte Hohlräume erzeugt, was zu entspiegelten Oberflächen ohne parasitäre Absorption im UV- oder IR-Spektrum und mit bemerkenswerter Winkelstabilität führt.

Hauptvorteile des Verfahrens:
Low temperature surface treatment: all materials can be treated, even the most insulating and temperature sensitive, without changing their mass properties.

• Oberflächenbehandlung bei niedrigen Temperaturen: Alle Materialien können behandelt werden, auch die isolierendsten und temperaturempfindlichsten, ohne ihre Masseneigenschaften zu verändern.
• Keine Beschichtung: Die Oberfläche des Materials selbst wird verbessert
• Umweltfreundliches Trockenverfahren