INDUSTRIELLE VALIDIERUNG VON PVD-ABZAHLUNGEN DURCH KLEINE SERIEN

Diese neue Ausrüstung wurde im Rahmen unseres FEDER EMRADEMO2Factory-Projekts erworben und wird die Plasmaausrüstungsflotte von Materia Nova erweitern und Kunden Beschichtungsentwicklungen im industriellen Maßstab anbieten.

Die Plasmatechnologie und -entwicklungen von Materia Nova werden in großem Maßstab demonstriert, sodass Kunden die Technologie anhand von Probengrößen und -volumina bewerten können, die eine industrielle Vorvalidierung ermöglichen.

Die Flexibilität und Zuverlässigkeit von PVD-Beschichtungssystemen sind wesentliche Elemente unserer Forschungsprojekte. Ausgestattet mit 4 Sprühquellen, einem Ätzsystem zur Oberflächenvorbereitung, einer eigenständigen achteckigen PVD-Kammer und zwei Türen (zum Be- und Entladen) ermöglicht das Domino Kila Flex PVD-Beschichtungssystem von Oerlikon:

• eine Vielzahl von Beschichtungsrezepten zu programmieren,
• Plasmaanalysen und Online-Diagnostik zur Untersuchung von Beschichtungsprozessen,
• die Integration von PACVD-Vorläufersystemen und Zusatzmodulen, ...