Thermosublimation

Unsere TechnologienProzesseTrockene Oberflächenabscheidung

Das thermische Verdampfen ist ein Prozess, der in einer Vakuumkammer durchgeführt wird, um dünne Schichten auf einem Substrat abzuscheiden. Dies geschieht durch Erhitzen eines festen Materials bis zu seinem Sublimationspunkt mittels Widerstandsheizung.

Unsere Stärken:

  • Unsere Thermosublimatoren sind Multi-Source (Metalle, MeOx und organisch) und arbeiten unter sehr hohem Vakuum (10-7 Torr). Das Verfahren ist ideal für die Realisierung von komplexen Schichtstapeln mit exzellenter Dickenkontrolle und auf unterschiedlichen Substraten (Glas, Stahl, Polymere, Textilien...). Die Methode erlaubt auch das Co-Verdampfen mehrerer Spezies, um Multimaterial- und Hybridschichten mit einer genauen Kontrolle des Anteils der Bestandteile (z. B. dotierte Schichten) zu erzeugen.
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