Spray Pyrolyse (AACVD) – Dépôt de couches minces par voie solution
Le spray pyrolyse est une technique de dépôt de couches minces basée sur la pulvérisation d’une solution contenant des précurseurs chimiques sur un substrat chauffé.
La solution est atomisée sous forme de fines gouttelettes, transportées vers le substrat. Au contact de la surface portée à haute température (typiquement entre 400 et 800 °C), les composés se décomposent pour former une couche solide fonctionnelle.
Cette approche, proche du CVD mais utilisant des précurseurs liquides, est particulièrement adaptée à la fabrication de revêtements fonctionnels à faible coût.
Fonctionnement :
- Atomisation d’une solution de précurseur
- Transport des gouttelettes vers un substrat chauffé
- Décomposition thermique et formation du revêtement
- Extraction des gaz résiduels
Le processus peut être adapté pour améliorer l’uniformité (ex. assistance électrostatique).
La technologie permet l’utilisation d’une large gamme de précurseurs :
- Nitrates métalliques
- Chlorures métalliques
- Alkoxydes (type Zr(OR)₄)
- Complexes organométalliques
Cette flexibilité permet de déposer de nombreux oxydes fonctionnels (ZrO₂, TiO₂, etc.).
Materia Nova a développé un pilote de spray pyrolyse (AACVD) permettant des développements R&D et des validations pré-industrielles.
Caractéristiques principales :
- Chambre à atmosphère contrôlée
- Capture et traitement des gaz d’échappement
- Procédé entièrement piloté par ordinateur
- Substrats jusqu’au format A4
- Plateau chauffant jusqu’à ~500 °C
Cet équipement permet de travailler dans des conditions reproductibles et sécurisées, adaptées aux développements industriels.
Applications :
- Revêtements fonctionnels (optiques, barrières, catalytiques)
- Électrodes pour batteries ou capteurs
- Coatings pour énergie (PV, hydrogène)
- Protection et fonctionnalisation de surfaces