Pilote de spray pyrolyse (AA-CVD)
Le spray pyrolyse est une technique de dépôt de couches minces basée sur la pulvérisation d’une solution contenant des précurseurs chimiques sur un substrat chauffé.
Contrairement à la plupart des bancs de spray pyrolyse académiques ou industriels, qui opèrent à l'air libre sous une hotte, notre équipement fonctionne en enceinte fermée à atmosphère contrôlée. Cette configuration permet une gestion précise de l'injection des précurseurs et de l'évacuation des résidus de réaction, avec une meilleure reproductibilité, traçabilité et sécurité qu'un montage ouvert.
La solution est atomisée sous forme de fines gouttelettes, transportées vers le substrat. Au contact de la surface portée à haute température (typiquement entre 400 et 800 °C), les composés se décomposent pour former une couche solide fonctionnelle.
Cette approche, proche du CVD mais utilisant des précurseurs liquides, est particulièrement adaptée à la fabrication de revêtements fonctionnels à faible coût.
La technologie permet l’utilisation d’une large gamme de précurseurs: Nitrates métalliques, Chlorures métalliques, Alkoxydes (type Zr(OR)₄), Complexes organométalliques.
Cette flexibilité permet de déposer de nombreux oxydes fonctionnels (ZrO₂, TiO₂, etc.).
Caractéristiques principales :
- Chambre à atmosphère contrôlée (actuellement opéré en mode oxydatif / air)
- Capture et traitement des gaz d’échappement
- Procédé entièrement piloté par ordinateur
- Substrats jusqu’au format A4 (verre, quartz, wafers de silicium, métaux)
- Plateau chauffant jusqu’à ~500 °C
Cet équipement permet de travailler dans des conditions reproductibles et sécurisées, adaptées aux développements industriels.
Applications :
- Revêtements fonctionnels (optiques, barrières, catalytiques)
- Vitrage fonctionnel : couches bas-émissives, oxydes conducteurs transparents (TCO)
- Électrodes pour batteries ou capteurs
- Coatings pour énergie (photovoltaïque, hydrogène, SOFC)
- Protection anticorrosion et couches barrières haute température
- Protection et fonctionnalisation de surfaces
