Sublimation Thermique
L’évaporation thermique est un processus effectué dans une chambre à vide permettant le dépôt de films mâche sur un substrat. Cela se fait en chauffant un matériau solide jusqu’à son point de sublimation en utilisant un chauffage résistif.
Nos points forts :
- Nos sublimateurs thermiques sont multi-sources (métaux, MeOx et organiques) et opèrent sous très haut vide (10-7 Torr). La méthode est idéale pour la réalisation d'empilements de couches complexes avec un excellent contrôle en épaisseur et sur différents substrats (verre, acier, polymères, textiles,...). La méthode permet également de co-évaporer plusieurs espèces de manière à créer des couches multi-matériaux et hybrides avec un contrôle précis de la proportion des constituants (par exemple des couches dopées).